第802章 欧皇妲:我不太懂光刻胶(1 / 2)
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程新彤见状,赶忙说道:“没事,这是我小师妹,不用管那些规矩。”
“小师妹,你谦虚了……”程新彤笑著。
隨后,程新彤便带著她们参观了新彤光电的实验室,见到了研究光刻胶的诸多团队。
因为程新彤本身就是材料出身的专家,自己也一直抓著这一块,哪怕是合併后,她主要负责的也是技术,因此一切都比较熟悉。
在开了几个小会介绍眼下的问题,然后又说了紫晶工厂那边的要求后,一行人走进了核心研发会议室。
程新彤示意助理把所有技术文档投影到大屏幕上,自己走到白板前,拿起记號笔,神情变得异常严肃。
“小师妹,我跟你交个底吧。”程新彤在白板上写下几个关键词,“目前我们的光刻胶用在28nm製程上已经完全没有问题,良品率能做到97%以上。但紫晶那边下一代產品线直接跳到了13nm,这中间的差距,比我想像的要大得多。”
欧皇妲歪了歪脑袋,吸了一口奶茶:“卡在哪儿了?”
程新彤嘆了口气,在白板上画了几条线:“第一,解析度。13nm节点要求光刻胶的解析度控制在10nm以內,否则会出现桥接和断线。我们的配方目前极限只能做到16nm左右,再往下,线条就会开始扭曲。”
她顿了顿,又写下第二点:“第二,线宽粗糙度,也就是lwr。
紫晶要求lwr低於,我们现在勉强能做到。
別看就差,这背后涉及的是分子量分布和光酸扩散长度的平衡问题。
我带著团队试了三个月,调整了三十多种聚合物配比,始终突破不了。”
程新彤有些失落,她没想到自己带领的团队,还真就迟迟没法解决这个问题。
自己好歹从校园出来后,也从事这方面的研究二十年。 ↑↑