第803章 没见过正常，我刚想到的。（1 / 2）
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欧皇妲没回答，而是伸出手指在屏幕上划了几下，放大了一张分子量分布图。
然后又抱著奶茶，小口吸了几口，认真的思考起来。
身后的程新彤，以及一眾专家都紧盯著这娇小的背影。
“问题在这儿。”她指著图上一处不太明显的肩峰，说道：“你们的聚合物合成工艺里，链转移控制不够精准，导致高分子量组分占比偏高。
这部分虽然对解析度有帮助，但在曝光后会產生严重的链缠结效应，直接拉高了lwr。”
程新彤猛地站起身，快步走到屏幕前死死盯著那张图。身后的几个研究员也凑了过来，神色各异。
“可是……”之前那个戴眼镜的研究员迟疑道，“我们做过gpc测试，分散度已经控制在以下了，这在国內算顶尖水平了。”
“对28nm够用，对13nm远远不够。”欧皇妲语气平淡，虽然她没做过这个实验，但是冥冥之中她脑子里有个数字在跳出来似的。
略微停顿后，她说道：“你可以试试把分散度压到1……以下，同时要把高分子量尾端完全切掉。
另外，你们的產酸剂和淬灭剂的比例也有问题——在这么短的曝光波长下，酸扩散长度必须控制在5nm以內。你们现在的配方，酸扩散长度至少在9到10nm。”
程新彤深吸一口气：“这个我们也意识到了，但是调整比例之后敏感度就会大幅下降……”
“那是因为你们用的淬灭剂扩散係数太高了。”欧皇妲打断了她，伸手从白板上拿起一支笔，刷刷刷写下一串分子式，“试试这个，刚合成的含氟负离子配对的三级胺盐。
它的扩散係数比你们现在用的低两个数量级，而且热稳定性更好。產酸剂那边，把阴离子换成这个结构——”
她又写了一串更长的分子式。
会议室里鸦雀无声。所有研究员都在盯著白板上那些陌生的化学结构。