第728章 只有材料的进度最迅速……（1 / 2）
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其定位精度需小於10nm，甚至要达到3nm以內的套刻精度要求。
研发应用雷射干涉仪、光柵尺等超精密测量传感器，以及直线电机、压电陶瓷等驱动器，实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制 。
这些都是超精密的器件。
如果只是一般的光柵尺，或许万八千就能买到，但是要放在光刻机上，显然不够。
蒋新松看著下面一堆红色的待开展任务，也不禁皱起眉头，“这需要更高性能的点击，才能实现运动的精度。”
“而因为灯塔国的制裁，发那科、西门子等大集团，都已经中断了咱们採购性能级以上的电机……”
他觉得十分棘手。
现在的情况，真的就是，几乎是一颗螺丝，都得自己造，人家都不肯卖给你。
而这些，在国內又没有替代品。特別是高端电机，目前初苗集团的德多电机，就已经是国產电机的领军人物了。
压根找不到第二家能直接买来使用的。
“哎，还是得等老钱发力啊！”郭汝京感慨说道。
好在这条路也不是只有他一个人，整个光科技项目，牵扯进来的团队不下百个，上万名工程师，都在研究著。
其中还有不少高校的团队，也在接到紫晶工厂的委託研究任务后，加入到研究行列中来。
而除了核心的系统外，还有整机集成与软体控制。
需要將上述数十万个零部件（包括4万个螺栓、3千条电线、2公里长软管）进行精密组装 。 ↑↑